晶圓設備，微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業(yè)首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業(yè)的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。

傳統(tǒng)的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器，整個地面為回風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置，解決了繁復的安裝和性價比問題，是目前市場上一種安靜、價格優(yōu)良的機組，為潔凈室輸送高質量的循環(huán)空氣。

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