超凈工作臺(tái)檢驗(yàn)方法-層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)JGT_19-1999

本文上接：層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)--JG/T 19- 1999（第一部分）

3 超凈工作臺(tái)之檢驗(yàn)方法

3.1 檢漏

檢 漏 包 括泄漏測(cè)試和誘人測(cè)試。泄漏是指高效空氣過(guò)濾器上游側(cè)氣溶膠，未經(jīng)過(guò)濾，通過(guò)過(guò)濾器孔洞或安裝不嚴(yán)形成的縫隙漏至過(guò)濾器下游側(cè)的現(xiàn)象;誘人是指潔凈工作臺(tái)箱體外的氣溶膠，通過(guò)箱體縫隙或操作口而誘導(dǎo)進(jìn)人操作區(qū)的現(xiàn)象(見(jiàn)圖1,圖2)

3.1.1泄漏測(cè)試

3.1.1門(mén)儀器

采 用 檢 漏裝置或同類(lèi)型儀表。其性能要求

a 多 分 散DOP氣溶膠(冷煙)發(fā)生器，其濃度通常達(dá)80-100p g/L,

b 光 度計(jì)，其對(duì)DOP氣溶膠(冷煙)濃度的測(cè)量范圍為0.00 1^-100ug/l

3.1.1.2 測(cè)試方法

向高 效 空 氣過(guò)濾器上游側(cè)發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)，同時(shí)用檢漏裝置的采樣器在下游側(cè)距高效空氣過(guò)濾器出口約2.5 cm處進(jìn)行掃描巡檢。采樣量為47.2X10 5m丫s C28. 3 L/minD，巡檢速度錢(qián)5 cm/s。當(dāng)下游側(cè)濃度與上游側(cè)濃度的比大于。01%時(shí)，則認(rèn)為有明顯泄漏，應(yīng)進(jìn)行堵漏。

3.1.2誘人測(cè)試

3.1.2.1 儀器

與3. 1. 1.1相同。

3.1.2.2 測(cè)試方法

在 潔 凈 工作臺(tái)箱體連結(jié)縫外側(cè)和操作口邊緣外側(cè)所毗連的周?chē)h(huán)境中，發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)然后用采樣器在連結(jié)縫內(nèi)側(cè)和操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢。

a. 縫 隙誘人測(cè)試

水 平 層 流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距操作區(qū)壁面3c m，距接縫5c m 的下游處;而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)

在距操作口上擋板內(nèi)表面5 cm，距高效空氣過(guò)濾器出口或整流格板表面10 cm處進(jìn)行巡檢當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))的讀值超過(guò)臺(tái)外讀值的。.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘人(見(jiàn)圖3、圖4)。必須進(jìn)行堵漏。

b 外 部誘人測(cè)試(操作口邊緣)

水 平 層 流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距開(kāi)口處邊緣往里5c m，距壁內(nèi)表面3c m處(見(jiàn)圖5);而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距前擋板下邊緣往上5 cm，距前擋板內(nèi)表面3 cm處以及距臺(tái)面回風(fēng)柵板邊緣往里10 cm,

距回風(fēng)柵板往上5 cm處(見(jiàn)圖6)進(jìn)行巡檢。當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))讀值超過(guò)臺(tái)外讀值的。.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘人。

該 項(xiàng) 外 部誘人測(cè)試僅適用新產(chǎn)品檢測(cè)。

3.2 潔凈度

3.2.1儀器

塵 埃 粒 子計(jì)數(shù)器。

3.2.2測(cè)試方法

3.2.2.1 進(jìn)行潔凈度測(cè)試時(shí)，吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度(對(duì)于>-0. 5 km的粒子)不得小于35 000粒/L,當(dāng)吸風(fēng)口處不能滿(mǎn)足上述指標(biāo)時(shí)，宜在潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。

3.2-2.2 當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下，在距主過(guò)濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷

面的中心處(垂直層流潔凈工作臺(tái)距操作臺(tái)面250 mm的中心處)連續(xù)測(cè)試5次，求其平均值。

3.2-2.3 操作區(qū)氣溶膠濃度測(cè)試盡量采用大流量(47.2X1 0- m'/s(28.3 L /min))塵埃粒子計(jì)數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但采樣量不得小于11。

3.2.2.4 潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度測(cè)試，需要在測(cè)試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)氣溶膠濃度的時(shí)間內(nèi)

進(jìn)行，要測(cè)5次以上。

3.2-2.5 當(dāng)測(cè)試時(shí)有)5 pm粒子出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，才認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可

靠的

12.3 可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計(jì)算:

.......? ? ，..·..·....? ? (1)

C

磯-G

一一

式中:C— 操作區(qū)對(duì)比氣溶膠濃度()。5 pm),(粒/L);

c — 潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處)0.5 p m的氣溶膠濃度平均值，粒/L;

C, — 潔凈工作臺(tái)操作區(qū))0.5 p m的氣溶膠濃度平均值，粒/L;

Co — 可比工作環(huán)境中的)0.5 p m的氣溶膠濃度，取值為350 00粒/L,

3.2.4使用條件下操作區(qū)的潔凈度

潔 凈 工 作臺(tái)在使用條件下，不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少，要按有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測(cè)試，并按操

作區(qū)氣溶膠的實(shí)測(cè)濃度來(lái)評(píng)價(jià)操作區(qū)的潔凈度。

3.3 風(fēng)速

3.3.1儀器

采 用 便 攜式熱球電風(fēng)速計(jì)或便攜式熱敏電阻恒溫風(fēng)速計(jì)測(cè)試，所選用的儀器其誤差不大于被測(cè)量

的士1o%，風(fēng)速計(jì)應(yīng)按說(shuō)明書(shū)中的要求進(jìn)行標(biāo)定。

3.3.2測(cè)試方法

3.3.2.1 把在主過(guò)濾器或擴(kuò)散板下游10 cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積，各面積中

心點(diǎn)即為風(fēng)速測(cè)點(diǎn)(見(jiàn)圖7)。但各測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于25 cm,

13.2.2將各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速值計(jì)算出截面風(fēng)速算術(shù)平均值。風(fēng)速和風(fēng)速均勻率應(yīng)達(dá)到2.3中的規(guī)定。風(fēng)速

均勻率按下式計(jì)算:

V里大(c-0,)一V平

V ,

X 100% .............·............... (2 )

式中: 尸— 風(fēng)速均勻率，%;

Vw*(小)

V,-

截面風(fēng)速最大(小)值，m/s ;

截面風(fēng)速算術(shù)平均值，m/s

3.4 終負(fù)荷條件下的風(fēng)速測(cè)試

當(dāng) 主 過(guò) 濾器阻力增加到約初阻力(即工作臺(tái)設(shè)計(jì)風(fēng)速下的阻力)二倍后，要求潔凈工作臺(tái)操作區(qū)平

均風(fēng)速不得小于0. 3 m/s。該項(xiàng)測(cè)試適用于新產(chǎn)品。

3.4.1儀器及設(shè)備

3.4.1.1 風(fēng)速計(jì)按3.3.1 規(guī)定選用。

3.4. 1.2 傾斜式微壓計(jì)，精度應(yīng)不低于1級(jí)，標(biāo)定應(yīng)按JJG 172-7s+傾斜式微壓計(jì)檢定規(guī)程》進(jìn)行。

3.4.1.3 阻尼擋板采用冷軋?zhí)妓劁摪澹涑叽绱笮樵摑崈艄ぷ髋_(tái)上安裝的高效空氣過(guò)濾器的尺寸(長(zhǎng)x寬)。將擋板均勻鉆孔，使鉆孔的擋板阻力加上高效過(guò)濾器的阻力約為高效過(guò)濾器的終阻力值(即終阻力達(dá)到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼層。

3.4.2測(cè)試方法

在 潔 凈 工作臺(tái)的高效過(guò)濾器前、后處接人微壓計(jì)。在緊貼高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)裝上鉆孔的擋板(擋板開(kāi)孔加工面的反面應(yīng)對(duì)著上風(fēng)側(cè))，安裝時(shí)應(yīng)注意嚴(yán)密。

按3. 3. 2的測(cè)試方法，測(cè)定潔凈工作臺(tái)操作區(qū)的風(fēng)速。使平均風(fēng)速應(yīng)在所規(guī)定最小風(fēng)速的士10%以?xún)?nèi)。

I5 噪聲

35門(mén)儀器

采 用 聲 級(jí)計(jì)。儀器標(biāo)定后應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。

3.5.2測(cè)試方法

3.5-2.1 潔凈工作臺(tái)的噪聲測(cè)點(diǎn)應(yīng)布置在工作臺(tái)中心，距臺(tái)面前沿20 cm處，高度為110 cm(相當(dāng)操作人員坐著的耳部位置)，如圖8。其他局部?jī)艋O(shè)備的噪聲測(cè)點(diǎn)應(yīng)布置在距設(shè)備主要表面幾何中心的水平距離100 cm，高度為150 cm處。宜四面各測(cè)定一次，取四點(diǎn)算術(shù)平均值。

15.2.2局部?jī)艋O(shè)備應(yīng)在正常運(yùn)行條件下，測(cè)定A聲級(jí)及倍頻程值倍頻程的中心頻率范圍為63-8 000 Hz。對(duì)于出廠產(chǎn)品或現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)(即維修后的設(shè)備)僅測(cè)試A聲級(jí)值，對(duì)于新產(chǎn)品還應(yīng)測(cè)試噪聲倍頻程值。

3.5.2.3 測(cè)試噪聲的環(huán)境宜在室內(nèi)比較開(kāi)闊的、較硬實(shí)反射地面上進(jìn)行測(cè)量。傳聲器附近1 m的范圍內(nèi)，不應(yīng)有其他反射物。設(shè)備操作區(qū)開(kāi)口處，若設(shè)有擋板應(yīng)全部開(kāi)啟，特別注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、電磁場(chǎng)、振動(dòng)等給測(cè)量帶來(lái)的影響

15.2.4當(dāng)實(shí)測(cè)噪聲值與背景噪聲值的差值，大于或等于10 dB(A聲級(jí))時(shí)，表示實(shí)測(cè)噪聲值有效;為6-9 dB(A聲級(jí))時(shí)，應(yīng)將實(shí)測(cè)噪聲值結(jié)果減去1 dB;為4-5 dB時(shí)，應(yīng)減2 dB;當(dāng)小于3 dB時(shí)，則測(cè)量無(wú)效。

15.2.5測(cè)定潔凈工作臺(tái)的A聲級(jí)值應(yīng)達(dá)到2.4 中的規(guī)定。

36 振動(dòng)

3.6.1儀器

應(yīng) 是 具 有2 500H z的振動(dòng)頻率，位移為0.1 ij m^ 1.5 m m，加速度為。.Olg^-log的振動(dòng)分析計(jì)。

儀器校準(zhǔn)應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求進(jìn)行。

3.6.2測(cè)試方法

3.6.2.1 當(dāng)潔凈工作臺(tái)在正常運(yùn)行條件下，將振動(dòng)分析計(jì)的拾振器置于操作面的幾何中心處，測(cè)出x,

Y,Z三個(gè)軸向的總振幅值。

3.6.2.2 被測(cè)試的潔凈工作臺(tái)應(yīng)放置在振動(dòng)比較小的地面上進(jìn)行。在測(cè)試過(guò)程中應(yīng)避免周?chē)h(huán)境的影

口向。

3.6.2.3 三個(gè)軸向的振幅值均應(yīng)達(dá)到2.5中的規(guī)定。

3.7 照明

3了門(mén)儀器

采 用 攜 帶式照度計(jì)，應(yīng)按說(shuō)明書(shū)的要求進(jìn)行校準(zhǔn)。

3.7.2測(cè)試方法

測(cè) 點(diǎn) 布 置在潔凈工作臺(tái)橫向的中心線上，均勻布置三點(diǎn)，取算術(shù)平均值作為潔凈工作臺(tái)的照度。其照度應(yīng)達(dá)到2. 6中的規(guī)定。

3.8 絕緣阻抗

3.8.1儀器

采 用 50 0v 的兆歐表。

3.8.2測(cè)試方法

參 照 GB 998-67(低壓電器基本試驗(yàn)方法》和JB 617-65《低壓配電屏技術(shù)條件》標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)量電器及接線部分對(duì)工作臺(tái)金屬結(jié)構(gòu)之間的絕緣電阻

I9 耐電壓測(cè)試

參 照 JB 617-65有關(guān)規(guī)定，將工作臺(tái)的電器絕緣部分加10 00v 工頻持續(xù)1m in，查有無(wú)擊穿和閃絡(luò)現(xiàn)象。

4 檢驗(yàn)報(bào)告的編寫(xiě)

4門(mén)各項(xiàng)檢驗(yàn)應(yīng)按下列表格進(jìn)行檢測(cè)記錄和整理。

表 1 潔 凈工作臺(tái)銘牌登記表;

表 2 潔 凈度實(shí)測(cè)記錄表;

表 3 風(fēng) 速實(shí)測(cè)記錄表;

表 4 噪 聲實(shí)測(cè)記錄表;

表 5 振 動(dòng)實(shí)測(cè)記錄表;

表 6 照 度實(shí)測(cè)記錄表。

4.2 對(duì)特殊測(cè)試項(xiàng)目，可根據(jù)具體情況按需要進(jìn)行并記錄和整理。

附 錄A

本標(biāo)準(zhǔn)用詞說(shuō)明

(補(bǔ) 充 件 )

A1 表示很?chē)?yán)格，非這樣作不可的用詞

1 正面詞采用“必須”。

2 反面詞采用“嚴(yán)禁”。

表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣作的用詞

1 正面詞采用“應(yīng)”。

2 反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”

對(duì)表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣作的用詞

1 正面詞采用“宜”或“可”。

2 反面詞采用“不宜”

A A A A A A A A

附加說(shuō)明:

本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)城鄉(xiāng)建設(shè)環(huán)境保護(hù)部提出，由中國(guó)建筑科學(xué)研究院歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)建筑科學(xué)研究院空氣調(diào)節(jié)研究所負(fù)責(zé)起草。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:李貴文、施能樹(shù)、王君山、朱培康、魏貽寬。

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