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超凈工作臺檢驗方法-層流潔凈工作臺檢驗標準JGT_19-1999
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超凈工作臺檢驗方法-層流潔凈工作臺檢驗標準JGT_19-1999

本文上接:層流潔凈工作臺檢驗標準--JG/T 19- 1999(第一部分)

3 超凈工作臺之檢驗方法

3.1 檢漏

檢 漏 包 括泄漏測試和誘人測試。泄漏是指高效空氣過濾器上游側(cè)氣溶膠,未經(jīng)過濾,通過過濾器孔洞或安裝不嚴形成的縫隙漏至過濾器下游側(cè)的現(xiàn)象;誘人是指潔凈工作臺箱體外的氣溶膠,通過箱體縫隙或操作口而誘導進人操作區(qū)的現(xiàn)象(見圖1,圖2)

3.1.1泄漏測試

3.1.1門儀器

采 用 檢 漏裝置或同類型儀表。其性能要求

a 多 分 散DOP氣溶膠(冷煙)發(fā)生器,其濃度通常達80-100p g/L,

b 光 度計,其對DOP氣溶膠(冷煙)濃度的測量范圍為0.00 1^-100ug/l

3.1.1.2 測試方法

向高 效 空 氣過濾器上游側(cè)發(fā)DOP氣溶膠(冷煙),同時用檢漏裝置的采樣器在下游側(cè)距高效空氣過濾器出口約2.5 cm處進行掃描巡檢。采樣量為47.2X10 5m丫s C28. 3 L/minD,巡檢速度錢5 cm/s。當下游側(cè)濃度與上游側(cè)濃度的比大于。01%時,則認為有明顯泄漏,應進行堵漏。

3.1.2誘人測試

3.1.2.1 儀器

與3. 1. 1.1相同。

3.1.2.2 測試方法

在 潔 凈 工作臺箱體連結(jié)縫外側(cè)和操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中,發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)然后用采樣器在連結(jié)縫內(nèi)側(cè)和操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢。

a. 縫 隙誘人測試

水 平 層 流潔凈工作臺,應在距操作區(qū)壁面3c m,距接縫5c m 的下游處;而垂直層流潔凈工作臺,應

在距操作口上擋板內(nèi)表面5 cm,距高效空氣過濾器出口或整流格板表面10 cm處進行巡檢當檢漏儀(光度計)的讀值超過臺外讀值的。.01%時,則確認有氣溶膠誘人(見圖3、圖4)。必須進行堵漏。

b 外 部誘人測試(操作口邊緣)

水 平 層 流潔凈工作臺,應在距開口處邊緣往里5c m,距壁內(nèi)表面3c m處(見圖5);而垂直層流潔凈工作臺,應在距前擋板下邊緣往上5 cm,距前擋板內(nèi)表面3 cm處以及距臺面回風柵板邊緣往里10 cm,

距回風柵板往上5 cm處(見圖6)進行巡檢。當檢漏儀(光度計)讀值超過臺外讀值的。.01%時,則確認有氣溶膠誘人。

該 項 外 部誘人測試僅適用新產(chǎn)品檢測。

 

3.2 潔凈度

3.2.1儀器

塵 埃 粒 子計數(shù)器。

3.2.2測試方法

3.2.2.1 進行潔凈度測試時,吸風口處的氣溶膠濃度(對于>-0. 5 km的粒子)不得小于35 000粒/L,當吸風口處不能滿足上述指標時,宜在潔凈工作臺吸風口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。

3.2-2.2 當吸風口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷

面的中心處(垂直層流潔凈工作臺距操作臺面250 mm的中心處)連續(xù)測試5次,求其平均值。

3.2-2.3 操作區(qū)氣溶膠濃度測試盡量采用大流量(47.2X1 0- m'/s(28.3 L /min))塵埃粒子計數(shù)器,也可采用小流量塵埃粒子計數(shù)器,但采樣量不得小于11。

3.2.2.4 潔凈工作臺吸風口處的氣溶膠濃度測試,需要在測試潔凈工作臺操作區(qū)氣溶膠濃度的時間內(nèi)

進行,要測5次以上。

3.2-2.5 當測試時有)5 pm粒子出現(xiàn)時,應進行多次采樣,當其多次出現(xiàn)時,才認為該測試數(shù)值是可

靠的

12.3 可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計算:

.......? ? ,..·..·....? ? (1)

C

磯-G

一一

式中:C— 操作區(qū)對比氣溶膠濃度()。5 pm),(粒/L);

c — 潔凈工作臺吸風口處)0.5 p m的氣溶膠濃度平均值,粒/L;

C, — 潔凈工作臺操作區(qū))0.5 p m的氣溶膠濃度平均值,粒/L;

Co — 可比工作環(huán)境中的)0.5 p m的氣溶膠濃度,取值為350 00粒/L,

3.2.4使用條件下操作區(qū)的潔凈度

潔 凈 工 作臺在使用條件下,不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少,要按有關規(guī)定進行測試,并按操

作區(qū)氣溶膠的實測濃度來評價操作區(qū)的潔凈度。

3.3 風速

3.3.1儀器

采 用 便 攜式熱球電風速計或便攜式熱敏電阻恒溫風速計測試,所選用的儀器其誤差不大于被測量

的士1o%,風速計應按說明書中的要求進行標定。

3.3.2測試方法

3.3.2.1 把在主過濾器或擴散板下游10 cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積,各面積中

心點即為風速測點(見圖7)。但各測點間距不應大于25 cm,

13.2.2將各測點風速值計算出截面風速算術(shù)平均值。風速和風速均勻率應達到2.3中的規(guī)定。風速

均勻率按下式計算:

V里大(c-0,)一V平

V ,

X 100% .............·............... (2 )

式中: 尸— 風速均勻率,%;

Vw*(小)

V,-

截面風速最大(小)值,m/s ;

截面風速算術(shù)平均值,m/s

3.4 終負荷條件下的風速測試

當 主 過 濾器阻力增加到約初阻力(即工作臺設計風速下的阻力)二倍后,要求潔凈工作臺操作區(qū)平

均風速不得小于0. 3 m/s。該項測試適用于新產(chǎn)品。

3.4.1儀器及設備

3.4.1.1 風速計按3.3.1 規(guī)定選用。

3.4. 1.2 傾斜式微壓計,精度應不低于1級,標定應按JJG 172-7s+傾斜式微壓計檢定規(guī)程》進行。

3.4.1.3 阻尼擋板采用冷軋?zhí)妓劁摪?,其尺寸大小為該潔凈工作臺上安裝的高效空氣過濾器的尺寸(長x寬)。將擋板均勻鉆孔,使鉆孔的擋板阻力加上高效過濾器的阻力約為高效過濾器的終阻力值(即終阻力達到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼層。

3.4.2測試方法

在 潔 凈 工作臺的高效過濾器前、后處接人微壓計。在緊貼高效過濾器的上風側(cè)裝上鉆孔的擋板(擋板開孔加工面的反面應對著上風側(cè)),安裝時應注意嚴密。

按3. 3. 2的測試方法,測定潔凈工作臺操作區(qū)的風速。使平均風速應在所規(guī)定最小風速的士10%以內(nèi)。

I5 噪聲

35門儀器

采 用 聲 級計。儀器標定后應符合有關標準規(guī)定。

3.5.2測試方法

3.5-2.1 潔凈工作臺的噪聲測點應布置在工作臺中心,距臺面前沿20 cm處,高度為110 cm(相當操作人員坐著的耳部位置),如圖8。其他局部凈化設備的噪聲測點應布置在距設備主要表面幾何中心的水平距離100 cm,高度為150 cm處。宜四面各測定一次,取四點算術(shù)平均值。

15.2.2局部凈化設備應在正常運行條件下,測定A聲級及倍頻程值倍頻程的中心頻率范圍為63-8 000 Hz。對于出廠產(chǎn)品或現(xiàn)場檢驗(即維修后的設備)僅測試A聲級值,對于新產(chǎn)品還應測試噪聲倍頻程值。

3.5.2.3 測試噪聲的環(huán)境宜在室內(nèi)比較開闊的、較硬實反射地面上進行測量。傳聲器附近1 m的范圍內(nèi),不應有其他反射物。設備操作區(qū)開口處,若設有擋板應全部開啟,特別注意避免氣流產(chǎn)生的風壓、電磁場、振動等給測量帶來的影響

15.2.4當實測噪聲值與背景噪聲值的差值,大于或等于10 dB(A聲級)時,表示實測噪聲值有效;為6-9 dB(A聲級)時,應將實測噪聲值結(jié)果減去1 dB;為4-5 dB時,應減2 dB;當小于3 dB時,則測量無效。

15.2.5測定潔凈工作臺的A聲級值應達到2.4 中的規(guī)定。

36 振動

3.6.1儀器

應 是 具 有2 500H z的振動頻率,位移為0.1 ij m^ 1.5 m m,加速度為。.Olg^-log的振動分析計。

儀器校準應按照說明書的要求進行。

3.6.2測試方法

3.6.2.1 當潔凈工作臺在正常運行條件下,將振動分析計的拾振器置于操作面的幾何中心處,測出x,

Y,Z三個軸向的總振幅值。

3.6.2.2 被測試的潔凈工作臺應放置在振動比較小的地面上進行。在測試過程中應避免周圍環(huán)境的影

口向。

3.6.2.3 三個軸向的振幅值均應達到2.5中的規(guī)定。

3.7 照明

3了門儀器

采 用 攜 帶式照度計,應按說明書的要求進行校準。

3.7.2測試方法

測 點 布 置在潔凈工作臺橫向的中心線上,均勻布置三點,取算術(shù)平均值作為潔凈工作臺的照度。其照度應達到2. 6中的規(guī)定。

3.8 絕緣阻抗

3.8.1儀器

采 用 50 0v 的兆歐表。

3.8.2測試方法

參 照 GB 998-67(低壓電器基本試驗方法》和JB 617-65《低壓配電屏技術(shù)條件》標準。測量電器及接線部分對工作臺金屬結(jié)構(gòu)之間的絕緣電阻

I9 耐電壓測試

參 照 JB 617-65有關規(guī)定,將工作臺的電器絕緣部分加10 00v 工頻持續(xù)1m in,查有無擊穿和閃絡現(xiàn)象。

4 檢驗報告的編寫

4門各項檢驗應按下列表格進行檢測記錄和整理。

表 1 潔 凈工作臺銘牌登記表;

表 2 潔 凈度實測記錄表;

表 3 風 速實測記錄表;

表 4 噪 聲實測記錄表;

表 5 振 動實測記錄表;

表 6 照 度實測記錄表。

4.2 對特殊測試項目,可根據(jù)具體情況按需要進行并記錄和整理。

 

附 錄A

本標準用詞說明

(補 充 件 )

A1 表示很嚴格,非這樣作不可的用詞

1 正面詞采用“必須”。

2 反面詞采用“嚴禁”。

表示嚴格,在正常情況下均應這樣作的用詞

1 正面詞采用“應”。

2 反面詞采用“不應”或“不得”

對表示允許稍有選擇,在條件許可時首先應這樣作的用詞

1 正面詞采用“宜”或“可”。

2 反面詞采用“不宜”

 

A A A A A A A A

附加說明:

本標準由中華人民共和國城鄉(xiāng)建設環(huán)境保護部提出,由中國建筑科學研究院歸口。

本標準由中國建筑科學研究院空氣調(diào)節(jié)研究所負責起草。

本標準主要起草人:李貴文、施能樹、王君山、朱培康、魏貽寬。

 

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