高效過濾器的性能試驗(效率檢測和檢漏測試)標準

1高效過濾器的效率檢測

由前述可知。高效過濾器的效率檢測方法多種多樣，但歷經(jīng)半個多世紀的發(fā)展和演變，目前影響較大、使用范圍較廣的有：DOP法、粒子計數(shù)法和最易穿透粒徑t(MPPS)法。

1．1 DOP法

DOP法特指熱生成(凝結法)DOP氣溶膠加光度計測量法。該法最先由美國提出：將DOP液體加熱成蒸氣，蒸

氣在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0．3“m左右的單分散相氣溶膠顆粒，霧狀DOP進入風道，后用光散射式光度計(Light—scattering photometer)檢測過濾器前后氣樣的濁度比來計算過濾器的過濾效率。

1．2粒子計數(shù)法

粒子計數(shù)法以粒子計數(shù)器作為檢測儀器，塵源采用單分散或多分散氣溶膠。多分散氣溶膠是通過噴霧法(冷生成)產生的，膠源有時也應用DOP粒子，與熱生成DOP粒子相比．它們的材料相同，但分散度和檢測方法均不相同，應加以區(qū)分。冷發(fā)生DOP氣溶膠加粒子計數(shù)器是目前最常用的粒子計數(shù)法組合方式。

1．3最易穿透粒徑(MPPs)法

最易穿透粒徑法也稱為計數(shù)掃描法．是目前國際上高效過濾器的主流試驗方法[al。它的基礎仍是粒子計數(shù)。只是測試塵源采用最易穿透粒徑的粒子。用大流量激光粒子計數(shù)器或凝結核計數(shù)器對過濾器的整個出風面進行掃描檢驗。這種方法不僅能測量過濾器的平均效率。還可以比較各點的局部效率(滲漏試驗)。

2高效過濾器的檢漏

要保證潔凈室的潔凈度級別。除了選取適當?shù)倪^濾器外，還必須要求安裝的高效(超高效)過濾器無漏點，一只滲漏的過濾器會導致整個工程設計的失敗。因此。檢漏也是高效過濾器性能試驗中極其重要的一部分。國內外的相關標準也對此作出了專門的規(guī)定。高效過濾器的檢漏常采用冷發(fā)生DOP加計數(shù)掃描或光度計掃描。

2．1計數(shù)掃描

計數(shù)掃描采用的儀器是粒子計數(shù)器。測試值反映氣流中計徑粒子的計數(shù)濃度(粒／L)。掃描檢漏過程與效率測試中的MPPS法類似．因此可以允許通過掃描試驗數(shù)據(jù)計算效率，使效率試驗和掃描檢漏工作合而為一。計數(shù)掃描法靈敏度高，可適用于掃描ULPA過濾器。

2．2光度計掃描

光度計掃描采用的儀器是氣溶膠光度計．測試值反映氣體中顆粒物質的質量濃度(斗g，L)。相比于計數(shù)掃描法，光度計掃描的敏感度較低．不適用于效率高于99．999％的高效過濾器。

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