無塵車間-潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GBJ73--84

主編部門：中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)劃委員會(huì)

施行日期：一九八五年六月一日

關(guān)于發(fā)布《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的通知

計(jì)標(biāo)［1984］2483號(hào)

根據(jù)原國(guó)家建委（78）建發(fā)設(shè)字第562號(hào)文的要求，由電子工業(yè)部會(huì)同有關(guān)部門共同編制的《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》已經(jīng)有關(guān)部門會(huì)審。現(xiàn)批準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ73－84為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，自一九八五年六月一日起施行。

本規(guī)范由電子工業(yè)部管理，其具體解釋等工作，由電子工業(yè)部第十設(shè)計(jì)研究院負(fù)責(zé)。

國(guó)家計(jì)劃委員會(huì)

一九八四年十二月一日

編制說明

本規(guī)范是根據(jù)原國(guó)家基本建設(shè)委員會(huì)（78）建發(fā)設(shè)字第562號(hào)文的要求，由我部負(fù)責(zé)主編的。具體由我部第十設(shè)計(jì)研究院會(huì)同機(jī)械工業(yè)部第十一設(shè)計(jì)研究院、航空工業(yè)部第四規(guī)劃設(shè)計(jì)研究院、電子工業(yè)部第十一設(shè)計(jì)研究院、兵器工業(yè)部第五設(shè)計(jì)研究院、中國(guó)船舶工業(yè)總公司第九設(shè)計(jì)研究院、航天工業(yè)部第六設(shè)計(jì)研究院、化工部第六設(shè)計(jì)院、中國(guó)有色金屬總公司北京有色治金設(shè)計(jì)研究總院、中國(guó)建筑科學(xué)研究院和哈爾濱建筑工程學(xué)院等單位共同編制而成。

在編制過程中，規(guī)范編制組進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，認(rèn)真總結(jié)了我國(guó)潔凈廠房建設(shè)和使用的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，組織有關(guān)單位開展了必要的科學(xué)試驗(yàn)研究工作，并廣泛地征求了全國(guó)有關(guān)單位的意見。最后，由我部會(huì)同有關(guān)部門審查定稿。

本規(guī)范共分八章和七個(gè)附錄，主要的內(nèi)容有：總則、空氣潔凈度等級(jí)、總體設(shè)計(jì)、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)氣體管道、電氣等。

鑒于本規(guī)范系初次編制，執(zhí)行過程中，希各單位結(jié)合工程實(shí)踐和科學(xué)研究，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，如發(fā)現(xiàn)需要修改和充實(shí)之處，請(qǐng)將意見和有關(guān)資料寄交我部第十設(shè)計(jì)研究院，以供今后修訂時(shí)參考。

電子工業(yè)部

一九八四年八月二十七日

目錄

第一章 總則

第二章 空氣潔凈度等級(jí)

第三章 總體設(shè)計(jì)

第一節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

第二節(jié) 工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)

第三節(jié) 噪聲控制

第四節(jié) 微振控制

第四章 建筑

第一節(jié) 一般規(guī)定

第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施

第三節(jié) 防火和疏散

第四節(jié) 室內(nèi)裝修

第五節(jié) 裝配式潔凈室

第五章 空氣凈化

第一節(jié) 一般要求

第二節(jié) 潔凈室正壓控制

第三節(jié) 氣流組織和送風(fēng)量

第四節(jié) 空氣凈化處理

第五節(jié) 采暖通風(fēng)

第六節(jié) 風(fēng)管和附件

第六章 給水排水

第一節(jié) 一般規(guī)范

第二節(jié) 給水

第三節(jié) 排水

第四節(jié) 消防設(shè)施

第七章 工業(yè)氣體管道

第一節(jié) 通常規(guī)定

第二節(jié) 管道材料、閥門和附件

第三節(jié) 管道連接和清洗

第四節(jié) 安全技術(shù)

第八章 電氣

第一節(jié) 配電

第二節(jié) 照明

第三節(jié) 控制、通信和防護(hù)

附錄一名詞解釋

附錄二潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試

附錄三潔凈廠房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例

附錄四凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求

附錄五凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求

附錄六凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚

附錄七本規(guī)范用詞說明

第一章 總則

第1．0．1條 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國(guó)家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求。

第1．0．2條 本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以細(xì)菌為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計(jì)。

第1．0．3條 在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。

第1．0．4條 潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。

第1．0．5條 潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。

第二章 空氣潔凈度等級(jí)

第2．0．1條 空氣潔凈度應(yīng)按表2．0．1規(guī)定劃分為四個(gè)等級(jí)。

空氣潔凈度 表2．0．1

　         

注: 對(duì)于空氣潔凈度為100級(jí)的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計(jì)數(shù)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的．

第2．0．2條 潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的檢驗(yàn)，應(yīng)以動(dòng)態(tài)條件下測(cè)試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。

第三章 總體設(shè)計(jì)

第一節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

第3．1．1條 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：

一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；

二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域，如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于其最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；

三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。

第3．1．2條 對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行分析比較。

第3．1．3條 潔凈廠房最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時(shí)，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。

第3．1．4條 潔凈廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

第3．1．5條 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路）。如有困難時(shí)，可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。

第3．1．6條 潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材新。

第3．1．7條 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜?、種植對(duì)大氣含塵濃度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得防礙消防操作。

第二節(jié) 工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)

第3．2．1條 工藝布置應(yīng)符合下列要求：

一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室；

二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房；空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置；靠近潔凈區(qū)入口處宜布置空氣潔凈度等級(jí)較低的工作室；

三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置；

四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口；

五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口，物料傳遞路線應(yīng)最短，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。

第3．2．2條 潔凈廠房?jī)?nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔：

一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者；

二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強(qiáng)噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以控制者；

三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。

第3．2．3條 潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進(jìn)行分區(qū)布置。同時(shí)應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。

第3．2．4條 潔凈廠房設(shè)計(jì)必須合理確定各種管線的平面位置和堅(jiān)向標(biāo)高。

第3．2．5條 潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求。

第三節(jié) 噪聲控制

第3．3．1條 潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)，應(yīng)符合下列要求：

一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過70分貝A。

二、空態(tài)測(cè)試時(shí)，亂流潔凈室的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65分貝A。

注：①由于技術(shù)經(jīng)濟(jì)條件限制，或噪聲大于70分貝A對(duì)生產(chǎn)無影響時(shí)，噪聲級(jí)可適當(dāng)放寬，但不宜大于75分貝A；

②上述噪聲級(jí)是指在室內(nèi)每一個(gè)工作點(diǎn)人耳位置（人離開）的測(cè)量值。對(duì)于變動(dòng)噪聲，則取相同位置處在一個(gè)正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級(jí)。

第3．3．2條 潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)；各頻帶聲壓級(jí)值不宜大于表3．3．2的規(guī)定。

噪聲頻譜限制 表3．3．2

　           

第3．3．3條 潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。

第3．3．4條 潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。

第3．3．5條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。

除事故排風(fēng)外，應(yīng)對(duì)潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)。

第3．3．6條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級(jí)的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用：

一、總風(fēng)管為6--10米／秒；

二、無送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為6～8米／秒；

三、有送、回風(fēng)口的文風(fēng)管為3～6米／秒。

第3．3．7條 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不用因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。

第四節(jié) 微振控制

第3．4．1條 潔凈廠房和周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備（包括水泵等）及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

第3．4．2條 對(duì)潔凈廠房?jī)?nèi)外各類振源，應(yīng)測(cè)定其對(duì)潔凈廠房的綜合振動(dòng)影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對(duì)綜合振動(dòng)影響進(jìn)行評(píng)價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行比較，以確定對(duì)其采取必要的田振措施。

第3．4．3條 精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺(tái)座時(shí)，應(yīng)對(duì)氣溫進(jìn)行處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。

第四章 建筑

第一節(jié) 一般規(guī)定

第4．1．1條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重。

第4．1．2條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100毫基本模數(shù)。

第4．1．3條 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計(jì)規(guī)定）。

廠房變形縫應(yīng)避免穿過潔凈區(qū)。

第4．1．4條 送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。

第4．1．5條 對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設(shè)計(jì)和構(gòu)造的處理，應(yīng)避免在人流與物流運(yùn)輸以及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。

第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施

第4．2．1條 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。

第4．2．2條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。

廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。

第4．2．3條 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：

一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。

二、存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜。

三、盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按最大班人數(shù)每10人設(shè)一個(gè)。

四、潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。

五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。當(dāng)僅為100級(jí)垂直層流潔凈室時(shí)，可改設(shè)氣閘室。

潔凈區(qū)工作人員超過5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。

第4．2．4條 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。人員凈化用室和生活用室的布置，一般按圖4．2．4的人員凈化程序進(jìn)行布置。

第4．2．5條 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級(jí)和工作人員數(shù)量，潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般可按潔凈區(qū)設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人4～6平方米計(jì)算。

第4．2．6條 潔凈工作服室內(nèi)，對(duì)空氣凈化應(yīng)有一定的要求。

第4．2．7條 潔凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形狀等待征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。

第三節(jié) 防火和疏散

第4．3．1條 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不宜小于0．25小時(shí)。

第4．3．2條 潔凈廠房?jī)?nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，可按附錄三進(jìn)行分類。

第4．3．3條 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3，000平方米，多層廠房應(yīng)為2，000平方米。

第4．3．4條 甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室，其頂棚和壁板（包括內(nèi)部填充物）應(yīng)為非燃燒體。

第4．3．5條 在一個(gè)防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0．6小時(shí)。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

第4．3．6條 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1小時(shí)。井壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0．6小時(shí)；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng)采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

第4．3．7條 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個(gè)。但符合下列要求者，可設(shè)置一個(gè)安全出口：

一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過50平方米，且同一時(shí)間內(nèi)的生產(chǎn)人員總數(shù)不用過5人；

二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國(guó)家現(xiàn)行的《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》的規(guī)定者。

安全出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點(diǎn)至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化路線。

第4．3．8條 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應(yīng)向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動(dòng)門。

第4．3．9條 當(dāng)潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80米時(shí)，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。

專用消防口的寬度不應(yīng)小于750毫米，高度不應(yīng)小于1800毫米，并應(yīng)有明顯標(biāo)志。

樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽(yáng)臺(tái)，并從二層起向上設(shè)爬樓。

第四節(jié) 室內(nèi)裝修

第4．4．1條 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保溫層時(shí)。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。

第4．4．2條 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除塵等要求；應(yīng)減少凹凸面，陰陽(yáng)角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用于操作；如為抹灰時(shí)，應(yīng)采用高級(jí)抹灰標(biāo)準(zhǔn)。

第4．4．3條 潔凈室的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。

第4．4．4條 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi)更換高效空氣過濾器時(shí)，宜增刷涂料飾面。

地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。

建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)與整個(gè)送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并應(yīng)易于除塵。

第4．4．5條 潔凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。

第4．4．6條 潔凈室內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。

第4．4．7條 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙，均應(yīng)采取可靠的密封措施。

第4．4．8條 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)，頂棚和墻面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。

第五節(jié) 裝配式潔凈室

第4．5．1條 在新建或改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)中，對(duì)于面積不大、層高較低、要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。

第4．5．2條 裝配式潔凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級(jí)不得低于二級(jí)。

第4．5．3條 裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內(nèi)壁板或支柱支承，也可固定在外圍建筑上?；仫L(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。

第4．5．4條 裝配式潔凈室設(shè)計(jì)應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配式潔凈室的構(gòu)配件應(yīng)做到：連接構(gòu)造的整體性強(qiáng)、氣密性好，并便于組裝、拆卸、包裝和運(yùn)輸。

第4．5．5條 裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外圍建筑的墻壁。緊貼時(shí)，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應(yīng)封閉；靠近時(shí)，應(yīng)留有清掃距離。當(dāng)裝配式潔凈室時(shí),壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時(shí)，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面之間凈寬不宜小于600毫米。

第五章 空氣凈化

第一節(jié) 一般要求

第5．1．1條 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)的確定，應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈室內(nèi)有多種工序時(shí)，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級(jí)。

二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組織，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。

第5．1．2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。

第5．1．3條 潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、濕度，應(yīng)符合下列規(guī)定：

一、滿足生產(chǎn)工藝要求；

二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時(shí)，潔凈室溫度為20～26℃，濕度小于70％；

三、人員凈化用室和生活用室溫度為16－28℃。

第5．1．4條 潔凈室內(nèi)應(yīng)保證－定的新鮮空氣量，其數(shù)值應(yīng)取下列風(fēng)量中的最大值：

一、亂流潔凈室后送風(fēng)量的10－30％，層流潔凈室總送風(fēng)量的2～4％；

二、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；

三、保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。

第5．1．5條 潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。

第5．1．6條 在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對(duì)施工和維護(hù)管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。

第二節(jié) 潔凈室正壓控制

第5．2．1條 潔凈室必須維持一定的正壓。 不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于0．5毫米水柱；潔凈區(qū)與室外的靜壓差，不應(yīng)小于1．0毫米水柱。

第5．2．2條 潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計(jì)算：

Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）

式中Q一維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量（立方米／時(shí)），

a一根據(jù)圍護(hù)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取l．l－l．2；

q一當(dāng)潔凈室為某一正壓值時(shí)，其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量（立方米／時(shí)·米）；

L一圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙長(zhǎng)度（米）。

第5．2．3條 圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量 可按表5．2．3采用。

圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量 表5．2．3

　       

第5．2．4條 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時(shí)，聯(lián)鎖程序應(yīng)為先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，則聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。

第5．2．5條 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風(fēng)機(jī)，并應(yīng)對(duì)新風(fēng)進(jìn)行處理。

第三節(jié) 氣流組織和送風(fēng)量

第5．3．1條 氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求來。并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一；

二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部；

三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。

第5．3．2條 潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表5．3．2選用。

氣流組織和送風(fēng)量 表5．3．2

　       

注：１.垂直層流潔凈室采用相對(duì)兩側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口方式，僅適用于兩對(duì)側(cè)側(cè)墻間距不大于5米．

2.亂流潔凈室送風(fēng)量的確定，宜考慮室內(nèi)含塵濃度不均勻擴(kuò)散的因素．

　       

 第5．3．3條 亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的最大值：

一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量；

二、按表5．3．2規(guī)定的送風(fēng)量；

三、根據(jù)熱、濕負(fù)荷計(jì)算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量；

四、按空氣平行所需要的送風(fēng)量。

第5．3．4條 當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達(dá)到更高的空氣潔凈度時(shí)，其氣流組織設(shè)計(jì)應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級(jí)的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5．3．4－1、圖5．3．4－2選用。

第5．3．5條 層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺(tái)；亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺(tái)，但其位置應(yīng)遠(yuǎn)離回風(fēng)口。

第5．3．6條 潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時(shí)，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。

第四節(jié) 空氣凈化處理

第5．4．1條 各等級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。

注：100,000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器。

第5．4．2條 確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室空氣潔凈度等級(jí)、面積位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

第5．4．3條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)利用回風(fēng)。

第5．4．4條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口滲入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。

第5．4．5條 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：

一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器

二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；

三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端；

四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用；

五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)；

六、高效空氣過濾器的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜于檢漏和更換。

第5．4．6條 送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。

第5．4．7條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

第五節(jié) 采暖通風(fēng)

第5．5．1條 潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：

一、100級(jí)、1000級(jí)、10，000級(jí)潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖；l00，000級(jí)潔凈室，不宜采用散熱器采暖。

二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進(jìn)行間接采暖，或采用間歇運(yùn)行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、值班風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行熱風(fēng)采暖。

第5．5．2條 散熱器應(yīng)采用表面光滑、不易積塵、便于清掃的型式。

第5．5．3條 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。

第5．5．4條 局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：

一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)；

二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性；

三、所排出的有害物毒性相差很大。

第5．5．5條 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)采取下列措施：

一、防倒灌措施；

二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。

第5．5．6條 換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)措施。其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。

第5．5．7條 潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時(shí)15～20次。

事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點(diǎn)，并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報(bào)警裝置。

第六節(jié) 風(fēng)管和附件

第5．6．1條 風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對(duì)風(fēng)管內(nèi)壁進(jìn)行清潔處理，并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。

第5．6．2條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。

送風(fēng)機(jī)的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置防火閥。

第5．6．3條 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護(hù)網(wǎng)、孔板和擴(kuò)散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

第5．6．4條 在中效和高效的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。

第5．6．5條 排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管。其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和消聲材料及其粘結(jié)刑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。

　

第六章 給水排水

第一節(jié) 一般規(guī)范

第6．1．1條 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水排水干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。

潔凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對(duì)空氣潔凈度等級(jí)要求高的潔凈室可暗敷。

第6．1．2條 潔凈廠房?jī)?nèi)的管道外表面，如可能結(jié)露，應(yīng)采取防結(jié)露措施。

第6．1．3條 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

第5．1．4條 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時(shí)，穿墻管及其套管應(yīng)為非燃燒體管材。

第二節(jié) 給水

第6．2．1條 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，分別設(shè)置直流、循環(huán)或重復(fù)利用的給水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。

第6．2．2條 管材的選擇，應(yīng)符合下列要求：

一、純水管、高純水管應(yīng)采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管；

二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；

三、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接宜采用優(yōu)質(zhì)軟管；

四、管道的配件應(yīng)采用相應(yīng)的材料。

第6．2．3條 潔凈廠房?jī)?nèi)可設(shè)置開水供應(yīng)設(shè)施；盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供應(yīng)熱水；軟化水、純水管適應(yīng)預(yù)留清洗口；純水終端凈化裝置應(yīng)放在靠近用水點(diǎn)處。

第6．2．4條 潔凈廠房的周圍，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。

第三節(jié) 排水

第6．3．1條 潔凈廠房的排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質(zhì)、濃度、水量等特點(diǎn)確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。

第6．3．2條 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。

第6．3．3條 100級(jí)、1000級(jí)潔凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏；如必須設(shè)置時(shí)，應(yīng)采用有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。10，000、100，000級(jí)潔凈室內(nèi)允許穿過排水豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。

第6．3．4條 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管材、管架及其附件。

第四節(jié) 消防設(shè)施

第6．4．1條 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類和建筑物耐火等級(jí)等因素確定消防設(shè)施。

第6．4．2條 潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10升／秒，每股水量不應(yīng)少于5升／秒；

第6．4．3條 潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：

一、消火栓的水槍充實(shí)水柱，不應(yīng)小于10米。

二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為65毫米，配備的水帶長(zhǎng)度不應(yīng)超過25米，水槍噴嘴口徑不應(yīng)小于19毫米。

第6．4．4條 潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對(duì)設(shè)有貴重設(shè)備儀器或生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性較大的潔凈室，以及當(dāng)火災(zāi)發(fā)生時(shí)消防人員難以進(jìn)入撲救的技術(shù)夾層和技術(shù)夾道等部位，應(yīng)同時(shí)設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。

　

第七章 工業(yè)氣體管道

第一節(jié) 通常規(guī)定

第7．1．1條 工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道宜明敷；如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。引入潔凈室的支管宜明敷。

第7．1．2條 高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)附合下列要求

一、根據(jù)計(jì)算確定管徑；

二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短；

三、不宜設(shè)預(yù)留口；

四、不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位；

五、干管和支管上應(yīng)設(shè)置吹除口；

六、在管道系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置必要的取樣口。

第7．1．3條 穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

第7．1．4條 氫氣和氧氣管道末端或是高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。

第7．1．5條 氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求進(jìn)行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。

第7．1．6條 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。

高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高氣體過濾器。

第二節(jié) 管道材料、閥門和附件

第7．2．1條 根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：

一、氣體純度大于或等于99．999％時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管；

二、氣體純度大于或等于99．99％時(shí)，直采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管；

三、氣體純度小于99．99％時(shí)，可采用無縫鋼管；

四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時(shí)，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳膠管。

第7．2．2條 高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的閥門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。

第7．2．3條 高純氣體管道與附件連接的密封墊,應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

第三節(jié) 管道連接和清洗

第7．3．1條 管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。

第7．3．2條 管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

第7．3．3條 高純氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進(jìn)行清洗、脫脂等預(yù)處理。

第四節(jié) 安全技術(shù)

第7．4．1條 工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器；

二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置；

三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。

第7．4．2條 潔凈室內(nèi)使用氫氣時(shí)，宜在室內(nèi)設(shè)置報(bào)警裝置。

第7．4．3條 各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過一瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。

　

第八章 電 氣

第一節(jié) 配電

第8．1．1條 潔凈廠房的電力負(fù)荷等級(jí)，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。凈化空氣調(diào)節(jié)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷，應(yīng)由變電所專線供電。

第8．1．2條 電源進(jìn)線（不包括消防用電）應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在非潔凈區(qū)便于管理的地點(diǎn)。

第8．1．3條 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵的設(shè)備，并宜暗裝。

大型配電設(shè)備不宜設(shè)在潔凈室內(nèi)。

第8．1．4條 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，管材應(yīng)采用非燃燒材料。由非潔凈區(qū)進(jìn)入潔凈區(qū)的電氣管線管口，應(yīng)采取可靠的密封措施。

第二節(jié) 照明

第8．2．1條 潔凈室內(nèi)的照明光源，宜采用熒光燈。如達(dá)不到照明設(shè)計(jì)的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)要求時(shí)，也可采用其他光源。

第8．2．2條 潔凈室內(nèi)一般照明燈具宜明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)采取可靠的密封措施。

潔凈室內(nèi)不應(yīng)采用格柵型燈具。

第8．2．3條 無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應(yīng)低于表8．2．3的規(guī)定數(shù)值。

無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值 表8．2．3

　       

第8．2．4條 無采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應(yīng)該按等級(jí)混合照明照度值的10－l5％采用，并不應(yīng)低于150勒克斯。

第8．2．5條 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的事故照明。在應(yīng)急安全出口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置標(biāo)志燈。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明燈。

第8．2．6條 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0．7。

第三節(jié) 控制、通信和防護(hù)

第8．3．1條 潔凈廠房的凈化空氣調(diào)節(jié)控制系統(tǒng)，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)溫度、濕度和正壓的要求。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應(yīng)設(shè)置無風(fēng)斷電保護(hù)。

第8．3．2條 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)外聯(lián)系的通信裝置。

第8．3．3條 潔凈廠房（包括技術(shù)夾層）應(yīng)單獨(dú)或組合設(shè)置感溫、感光、感煙等形式的火災(zāi)探測(cè)器。報(bào)警器（受訊臺(tái)）應(yīng)設(shè)置在有人值班的地點(diǎn)，供電應(yīng)可靠。

第8．3．4條 潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)緊急按鈕。如發(fā)生火災(zāi)危險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)能發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并應(yīng)同時(shí)切斷風(fēng)機(jī)電源。

　

附錄一 名詞解釋

 

附錄二

潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試

一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試：

（一）空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試

空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測(cè)試。

靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。

（二）動(dòng)態(tài)測(cè)試

潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。

二、潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

三、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試

（一）測(cè)試前的準(zhǔn)備

1、應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。

2、采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)）粒徑大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30，000粒／升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米／秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過濾器整個(gè)斷面封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。

當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0．5微米的塵粒超過3粒／分·升（或其穿透率大于0．01‰）即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。

（二）測(cè)試內(nèi)容

1、總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等；

2、潔凈室壓力值；

3、層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；

4、潔凈工作區(qū)的潔凈度；

5、室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試；

6、潔凈室內(nèi)噪聲。

（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法

對(duì)于粒徑大于或等于0．5微米的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。

光散射粒子計(jì)數(shù)法：

1、光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量

100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升。

l，000級(jí)－l0,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0．3升。

100，000級(jí)：每次采樣量大于或等于0．1升。

對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試；

如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。

2、采樣注意事項(xiàng)

（1）采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。

（2）采樣管的長(zhǎng)度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長(zhǎng)度。當(dāng)無規(guī)定時(shí)，不宜大于1．5米。

（3）采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。

（4）采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。

3、測(cè)點(diǎn)布置

（l）檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米。

（2）層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0．5～2．0米，粒徑大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。

（3）亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)（附圖2）。

每增加20－50平方米，增加3--5個(gè)測(cè)點(diǎn)。

4、數(shù)據(jù)整理

（1）每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。

（2）對(duì)于大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。

（四）正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0．01毫米水柱的微壓計(jì)。

四、動(dòng)態(tài)測(cè)試。

在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。

　

附錄三 潔凈廠房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例

            

附錄四

凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求

一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合下列要求：

（一）施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)行；

（二）風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、干燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施；

（三）采用復(fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料；

（四）清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。

二、高效和亞高效空氣過濾器的安裝，應(yīng)符合下列要求：

（一）必須在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效空氣過濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進(jìn)行檢查、擦試、吹洗運(yùn)轉(zhuǎn)12小時(shí)后方能進(jìn)行；

（二）高效空氣過濾器必須在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；

（三）過濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施；

（四）過濾器安裝就位后，必須進(jìn)行檢漏和堵漏。

三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應(yīng)嚴(yán)格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)行。

　

附錄五

凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求

一、潔凈室的空氣，宜按附表５規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)

潔凈室的空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù) 附表5

　       

附錄六

凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚風(fēng)管壁厚 附表6

　       

附錄七

本規(guī)范用詞說明

一、執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)，對(duì)于要求嚴(yán)格程度的用詞說明如下，以便執(zhí)行中區(qū)別對(duì)待。

1、表承很嚴(yán)格，非這樣作不可的用詞：

正面詞采用“必須”；

反面詞采用“嚴(yán)禁”。

2、表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣作的用詞：

正面詞采用“應(yīng)”；

反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。

3、表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)，首先應(yīng)這樣作的用詞：

正面詞采用“宜”或“可”；

反面詞采用“不宜”。

二、條文中指明必須按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)按……執(zhí)行”或“應(yīng)符合……要求或規(guī)定”。非必須按所指定的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為，“可參照……”。

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